退火温度对溶胶-凝胶法制备ZnO：Al薄膜的影响
郭胜利1，胡跃辉2，胡克艳3，陈义川4，刘细妹5，徐斌6，张志明7
（景德镇陶瓷学院机械电子工程学院，江西 景德镇 333403）
摘 要：采用溶胶-凝胶旋涂法在石英玻璃衬底上生长了ZnO：Al薄膜，对所制备的薄膜在空气中用450 ℃、550 ℃和650 ℃的环境中进行退火，并研究不同退火温度对薄膜样品形貌和性能的影响。用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外—可见—近红外分光光度计(UV-VIS-NIR)、荧光光谱仪(PL)多种测试手段研究了不同退火温度对 ZnO：Al薄膜的结构形貌、晶格尺寸、透过率以及光致发光的影响。结果表明，该溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO：Al薄膜为六角纤锌矿结构，有很明显的C轴择优取向，薄膜在可见光区的透过率超过90%。随着退火温度的升高，薄膜(002)衍射峰增强，薄膜的晶粒尺寸增大，薄膜的光致发(PL)光强度增强且紫外发光边带随着退火温度的增加向短波方向移动。
关键词：ZnO薄膜；溶胶-凝胶法；退火温度； 光学性能